v0.8.1 릴리즈 노트
주요 내용
v0.8.1은 v0.8 process-window result contract를 보존하면서 반복 계산을 줄이고, 추가 aerial-image 구현을 연결할 수 있는 안정적인 integration seam을 마련했습니다.
Backend-Neutral Imaging Contract
Application은 mask와 optical configuration으로 imaging context를 준비한 뒤, 요청한 physical focus의 raw aerial image를 계산합니다. Abbe는 reference implementation으로 유지합니다. Contract는 다음을 보존합니다.
- raw, non-peak-normalized, clear-field-relative intensity
- micrometre 단위 wafer-side focus
- effective source-sample count
- calibration과 process-window orchestration의 backend-neutral reuse
이 contract는 service workflow에 backend별 분기를 추가하지 않고 v0.9의 exact Hopkins 구현을 연결하는 지점이 됐습니다.
성능 및 진단 정보
v0.8.1에서는 다음을 개선했습니다.
- preview, calibration, sweep 사이에서 raw best-focus aerial image 재사용
- 무조건적인 31-point calibration을 guarded coarse bracketing/refinement와 exhaustive fallback으로 교체
- dose condition별 raw aerial-image copy 제거
- printed-contour measurement의 uniform coordinate lookup 가속
- calibration search, evaluation count, boundary, tolerance state 기록
- 안전한 public error는 유지하면서 internal geometry failure logging
Baseline 320 x 320, candidate 1개, 3-by-3 benchmark에서 runtime은 4.30 s에서
2.94 s로 줄었습니다. 이는 개발 장비의 측정 비교이며 hosting latency를
보장하는 수치는 아닙니다.
검증
v0.8의 dose-to-size result, PASS/status grid, sampled depth of focus, representative measured-CD signature를 보존했습니다. Merge된 v0.8.1 release revision에서 자동화 test 50개를 모두 통과했습니다.