v0.8 릴리즈 노트
주요 내용
v0.8은 고정 ROI의 단일 normalized condition 검토를 physical focus/dose process-window workflow로 확장했습니다. 기존 fast preview는 그대로 유지하며, optional sweep는 하나의 고정 candidate를 제한된 focus 및 relative-dose grid에서 평가합니다.
Focus와 Dose 모델
Scalar, aberration-free Abbe pupil에 wafer-side focus_um을 전달하고 해당
defocus phase를 반영합니다. Dose는 resist-side threshold 연산으로 유지합니다.
effective threshold = nominal threshold / relative dose
따라서 dose마다 raw aerial image를 rescale하지 않습니다. Process-window 경로는 clear-field-relative intensity를 사용하고, legacy single-condition preview는 표시 목적의 peak normalization을 유지합니다. 이를 통해 visualization convention과 physical sweep measurement가 섞이지 않도록 했습니다.
Process-Window 분석
Optional workflow에 다음 기능을 추가했습니다.
- 고정 candidate focus/dose sweep
- best focus에서의 dose-to-size calibration
- 명시적인 no-contour 및 topology-failure state
- sampled depth-of-focus와 exposure-latitude summary
- common process-window count
- Bossung 및 process-window plot
- CSV 및 JSON result artifact
- focus, dose, candidate condition count를 제한하는 UI control
Focus condition 사이에서 mask FFT와 source-independent context를 재사용합니다.
Process-window 경로는 dense11 source quadrature가 default이고, 빠른
single-condition preview는 dense7을 유지합니다.
검증
Focus-sign symmetry, through-focus clear-field conservation, inverse-dose threshold behavior, topology failure, common-PW summary, service integration을 검증했습니다. v0.8 구현 milestone에서 자동화 test 47개를 모두 통과했습니다.
해석 범위
이 sweep는 simplified model을 사용하는 sampled process-window 분석입니다. Scanner-calibrated resist 또는 wafer prediction이 아닙니다. PASS cell은 설정된 contour/CD 기준을 sampled grid에서 만족한다는 의미로만 해석해야 합니다.